一体型変位チルトセンサ SH-3200
株式会社カツラ・オプト・システムズ

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この製品について

■開発の背景より良い製品を設計し作り上げるためには装置、治具はもちろん、測定器選びも必要不可欠であり、かつ精密な測定はもちろんのこと、段取り時間短縮や装置への組み込み取り付けのスペースも測定器選びの重要なファクターです。カツラオプトシステムズで培った非接触測定の技術を応用すれば歩留まりの向上、製品品質の向上に貢献いたします。

■特徴・三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに、さらにコンパクト化した高精度光学センサ
・センサとプロセッサ一体型でシンプルな構成
・1ビームで変位と傾斜の同時測定を実現
・測定範囲から選べる2種類のセンサと高速出力レート

■アプリケーション事例・製造工程中のウェーハの反りの判定
・プロジェクターのレンズフランジあおり、フォーカス調整
・カメラモジュールのレンズアクチュエータ駆動時の傾斜検査

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
一体型変位チルトセンサ SH-3200

取扱企業
株式会社カツラ・オプト・システムズ

カテゴリ

センサー

傾斜センサー

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一体型変位チルトセンサ SH-3200 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定対象	ワーキングディスタンス	測定項目	測定範囲	Repeatability	Linearity	デジタル出力 / 出力更新レート	波長	出力	ビーム径	信号出力	出力更新レート	外形寸法 (突起部除く)	質量
	SH-3200	要見積もり	光学平面ミラー (反射率80%以上推奨)	50±0.5mm	チルト (ΘX,ΘY) 、変位 (Z)	±90分 (円形範囲) 、±5mm	0.009分、0.5μm	±0.2% of F.S. (±0.36分相当) ±0.1% of F.S. (±10μm相当)	RS-232C規格 (準拠) / 1,000回/秒	660±10nm	クラス1	φ0.2mm以下	RS-232C規格 (準拠)	1,000回/秒	W100×D80×H35mm	0.33kg