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湿式除害装置 シャワー・バブリング式 スクラバー EXシリーズ-株式会社東設

湿式除害装置 シャワー・バブリング式 スクラバー EXシリーズ
株式会社東設

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この製品について

シャワー・バブリング方式で半導体・液晶製造装置等から排出される有害ガスを除害する従来式スクラバーです。

■特徴

・安価な湿式除害装置と粉詰まりにお悩みのお客様へ最適な装置です。 ・室内装置としては大風量の処理が可能な数少ない大型タイプがあります。 ・コンパクトなパッケージと制御盤一体型により操作性に優れています。 ・メンテナンスは充填材の交換のみで手間が掛かりません。 ・国内外で1,000台以上の納入実績があります。

■EXシリーズ製品紹介

　Exシリーズには、シャワータイプとバブリングタイプの2種類あり、お客様の用途に合わせて最適な装置提案をさせて頂きます。 ・シャワータイプ (EX-007PV、EX-007SUA) 　安価な湿式除害装置の導入をお考えのお客様向けのスクラバーです。 ・バブリングタイプ (EX-21、大型屋内除害装置) 　粉詰まり閉塞問題にお悩みのお客様向けのバブリングスクラバーです。

  • シリーズ

    湿式除害装置 シャワー・バブリング式 スクラバー EXシリーズ

  • 利用シーン

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会社概要

半導体、電子デバイス、液晶メーカー向けに「自動電解めっき装置」、「排ガス除害装置」、「ウェットプロセス装置」、「脱気システム」をメインとした装置を提供している開発型装置ベンチャーです。
設計開発、製造販売だけでな...

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