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ウェット処理装置 (FOPLP向け)取扱企業
株式会社SCREENフェバックスカテゴリ
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半導体製造装置の製品183点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | Panel | Panel Size | EQ configuration | Processing method | Chemical | Tact | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
ND Series (Developer) |
要見積もり |
Glass,mold,CCL |
~W2,200×L2,500mm,TBD |
I-Line /I-Turn /U-Turn |
Spray/Dip/Paddle |
Al/Mo/Cu/ITO Etchant TMAH/Na2CO3 |
TBD*depend on process condhitions |
|
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NE Series (Etcher) |
要見積もり |
Glass,mold,CCL |
~W2,200×L2,500mm,TBD |
I-Line /I-Turn /U-Turn |
Spray/Dip/Paddle |
Al/Mo/Cu/ITO Etchant TMAH/Na2CO3 |
TBD*depend on process condhitions |
|
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NS Series (Cleaner) |
要見積もり |
Glass,mold,CCL |
~W2,200×L2,500mm,TBD |
I-Line /I-Turn /U-Turn |
Spray/Dip/Paddle |
Al/Mo/Cu/ITO Etchant TMAH/Na2CO3 |
TBD*depend on process condhitions |
|
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NR Series (Stripper) |
要見積もり |
Glass,mold,CCL |
~W2,200×L2,500mm,TBD |
I-Line /I-Turn /U-Turn |
Spray/Dip/Paddle |
Al/Mo/Cu/ITO Etchant TMAH/Na2CO3 |
TBD*depend on process condhitions |
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 1 - 2 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260