HyperLith™シミュレータ
株式会社インターソフト

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この製品について

特長
■リソグラフィシミュレータ HyperLith™・使い勝手のよいリソグラフィシミュレータ、HyperLith
・使いやすく、柔軟且つ強力
・予め設定したテンプレートにより結果がすぐに得られる
・ハードウェア加速処理、並列処理、分散処理で高速化
・32/64ビットのWindowsとLinuxをサポート
・マスクパターンのテンプレート、レジストモデルのカスタマイズ、お客様ご自身による簡単なパターン作成機能
・直観的なGUI入力、 ステッパーでのリソグラフィシミュレーションに特化
・LiveView GUIで通常ケースでの概算シミュレーション結果がすばやく見れる
・DUV、液浸、EUV、厳密解/スカラー計算、偏光、収差、レジスト技術に対応
・SEMのシミュレーションができる (オプション) 