HyperLith™シミュレータ-HyperLith™シミュレータ
HyperLith™シミュレータ-株式会社インターソフト

HyperLith™シミュレータ
株式会社インターソフト



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特長

■リソグラフィシミュレータ HyperLith™

・使い勝手のよいリソグラフィシミュレータ、HyperLith ・使いやすく、柔軟且つ強力 ・予め設定したテンプレートにより結果がすぐに得られる ・ハードウェア加速処理、並列処理、分散処理で高速化 ・32/64ビットのWindowsとLinuxをサポート ・マスクパターンのテンプレート、レジストモデルのカスタマイズ、お客様ご自身による簡単なパターン作成機能 ・直観的なGUI入力、 ステッパーでのリソグラフィシミュレーションに特化 ・LiveView GUIで通常ケースでの概算シミュレーション結果がすばやく見れる ・DUV、液浸、EUV、厳密解/スカラー計算、偏光、収差、レジスト技術に対応 ・SEMのシミュレーションができる (オプション)

  • シリーズ

    HyperLith™シミュレータ

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