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FULLChip™ シミュレータ-FULLChip
FULLChip™ シミュレータ-株式会社インターソフト

FULLChip™ シミュレータ
株式会社インターソフト

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この製品について

FULLChipの特長

■研究開発と生産のためのリソグラフィ技術ソフトウェア

・十分大きい領域に適用できます ・高速かつ正確 ・空間像/レジスト/エッチ輪郭の計算 ・設計検証、ホットスポット検出 ・プロセスウィンドウ/PVバンド解析 ・OPC、ルールベース/モデルベースのSRAF配置 ・マルチパターニング分解、リターゲッティング ・パワフルなパターンマッチャー ・3Dベクトル効果を含むマスクモデル ・コンパクトなレジストモデル ・レイアウトサーバーと複数のクライアントから成る計算環境をサポート ・分散コンピューティングをサポート ・WindowsとLinuxをサポート

  • シリーズ

    FULLChip™ シミュレータ

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