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薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3-TM3
薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3-株式会社ベテル

薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3
株式会社ベテル

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■特徴

・熱物性顕微鏡は熱物性値の一つである熱浸透率を測定する装置です。 ・サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。 ・従来の熱物性測定装置では難しいとされていたミクロンオーダーでの熱物性値の分布も測定が可能です。 ・非接触かつ高分解能での熱物性の測定を可能にした世界初の装置です。 ・検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定 (点・線・面測定) が可能です。 ・深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。 ・基板上の試料も測定出来ます。 ・レーザ光による非接触測定です。 ・薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。

■熱物性顕微鏡の測定原理 (概要)

試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。 1、金属の反射率は、表面の温度により変化する性質 (サーモリレクタンス法) がありますので、加熱用レーザと同軸に照射した検出用レーザの反射強度変化を捉えることで表面の相対的温度変化を測定します。 2、熱は金属薄膜から試料に伝播し、表面の温度応答には位相の遅れが生じます。この位相の遅れは、試料の熱的特性により変化します。この加熱光と検出光の位相の遅れを測定して熱浸透率を求めます。

  • シリーズ

    薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3

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薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定モード 測定項目 検出光スポット径 1点測定標準時間 測定対象薄膜 繰り返し精度 試料 使用温度範囲 ステージ移動距離 加熱用レーザ 検出用レーザ 電源 本体外形寸法 電源ボックス外形寸法 本体重量 電源ボックス重量 オプション 標準付属品
薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3-品番-TM3

TM3

要見積もり

熱物性分布測定 (1次元・2次元・1点)

熱浸透率、 (熱拡散率) 、 (熱伝導率)

約3μm

10秒

厚さ 数百nm~数十μm

パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満

1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm
2.板状試料 30mm×30mm以内で厚さ3mm以内
・試料表面の鏡面研磨が必要です。
・試料表面にMoのスパッタリングが必要です。

24℃±1℃ (装置内蔵温度センサーによる)

・X軸方向 20mm
・Y軸方向 20mm
・Z軸方向 10mm

半導体レーザ 波長:808nm

半導体レーザ 波長:658nm

AC 100V 1.5kVA

730 (W) ×620 (D) ×560 (H) mm

620 (W) ×480 (D) ×310 (H) mm

80.0kg

26.4kg

光学定盤、空調機、空調用ブース、スパッタ装置

サンプルホルダー、基準試料

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社ベテルは本社を茨城県石岡市に置き、医療機器や電気部品および機械部品やプラスチック精密金型の製造を事業内容とする企業である。 1973年に電子部品の組立を中心として営業を開始。その後、1980年に株式会社として設...

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  • 本社所在地: 茨城県
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