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シリーズ
薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に 熱物性顕微鏡サーマルマイクロスコープ TM3取扱企業
株式会社ベテルカテゴリ
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マイクロスコープの製品230点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定モード | 測定項目 | 検出光スポット径 | 1点測定標準時間 | 測定対象薄膜 | 繰り返し精度 | 試料 | 使用温度範囲 | ステージ移動距離 | 加熱用レーザ | 検出用レーザ | 電源 | 標準付属品 | 本体外形寸法 | 電源ボックス外形寸法 | 本体重量 | 電源ボックス重量 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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TM3 |
要見積もり | 熱物性分布測定 (1次元・2次元・1点) | 熱浸透率、 (熱拡散率) 、 (熱伝導率) | 約3μm | 10秒 | 厚さ 数百nm~数十μm | パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満 |
1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm 2.板状試料 30mm×30mm以内で厚さ3mm以内 ・試料表面の鏡面研磨が必要です。 ・試料表面にMoのスパッタリングが必要です。 |
24℃±1℃ (装置内蔵温度センサーによる) |
・X軸方向 20mm ・Y軸方向 20mm ・Z軸方向 10mm |
半導体レーザ 波長：808nm | 半導体レーザ 波長：658nm | AC 100V 1.5kVA | サンプルホルダー、基準試料 | 730 (W) ×620 (D) ×560 (H) mm | 620 (W) ×480 (D) ×310 (H) mm | 80.0kg | 26.4kg |
光学定盤、空調機、空調用ブース、スパッタ装置 |
