クリーンルーム対応レギュレータ RSシリーズクリーンルーム対応-RS-4-[ ]-KA

クリーンルーム対応レギュレータ RSシリーズクリーンルーム対応
藤倉コンポジット株式会社

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この製品について

■クリーンルーム対応レギュレータ カテゴリ 概要クリーンルーム対応の超精密レギュレータ

■RSシリーズ クリーンルーム対応 概要クリーンルーム環境にて使用可能な超精密レギュレータ。

■特徴圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。

■クリーン仕様部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。

■排気ポートを設備リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。

■マニホールド対応マニホールド配管が可能です。

■高精度感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。

■長期圧力安定性一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど設定しません。

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
クリーンルーム対応レギュレータ RSシリーズクリーンルーム対応

取扱企業
藤倉コンポジット株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

精密レギュレータ

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2024年10月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

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クリーンルーム対応レギュレータ RSシリーズクリーンルーム対応品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	使用流体	圧力設定範囲 Mpa 0.014~0.42 0.014~0.84	1次側圧力範囲 Mpa	リリーフの有無	繰り返し再現性 % F.S.	感度 % F.S.	空気消費量 ℓ/min (ANR)	使用温度範囲	配管接続口径 Rc	圧力計接続口径 Rc	ブラケット	質量 kg
		RS-4-[ ]-KA	要見積もり	圧縮清浄空気	0.014~0.42	1 MAX	有り	±0.1 以内	0.1 以内	3.7 以内	5~60	1/4、マニホールド	1/4 (2カ所)	RS-[ ]-2-KAのみ装備	0.41
		RS-8-[ ]-KA	要見積もり	圧縮清浄空気	0.014~0.84	1 MAX	有り	±0.1 以内	0.1 以内	3.7 以内	5~60	1/4、マニホールド	1/4 (2カ所)	RS-[ ]-2-KAのみ装備	0.41