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クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM-Tape Frame Wafer EFEM
クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM-シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM
シンフォニアテクノロジー株式会社

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この製品について

■摘要

3次元集積化 (Tape Frameを用いた半導体製造工程) に対応したEFEMソリューション。

■特長

・高い信頼性と豊富な実績:300mmEFEMは全世界の前工程ラインにて稼働中。 ・SEMI規格対応 ・様々なTape Frame FOUPにも対応 ・パーティクルフリー

  • シリーズ

    クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM

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クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM 品番1件

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クリーン搬送システム for Back-End Process Tape Frame Wafer EFEM-品番-Tape Frame Wafer EFEM

Tape Frame Wafer EFEM

要見積もり

・ウエーハ反転機
・エリアセンサ―
・E84インターフェース
・イオナイザー
・ロードポートN2 Purge機能

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使用用途

#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出

搬送原理

コンベヤ式 ローラー式 空気浮上式 マグネット式

駆動方式

電動モータ駆動 空圧駆動 油圧駆動 手動式

搬送対象

製品搬送用 パレット搬送用 ワーク搬送用 クリーン搬送用

搬送経路

直線搬送 曲線・分岐搬送 垂直搬送

用途・業界

製造業向け 物流・倉庫向け 食品業界向け

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

シンフォニアテクノロジー株式会社は、航空宇宙、大型搬送システム、クラッチ・ブレーキ、モーションシステム、振動機などの分野で製品製造を行う電機メーカーである。本社所在地は東京都港区。 1949年、神戸製鋼所が三分割され、...

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  • 本社所在地: 東京都
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