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各種ガスの高精度質量流量計測に マスフローメータ TF-5000/6000シリーズ-TF-5310
各種ガスの高精度質量流量計測に マスフローメータ TF-5000/6000シリーズ-東京計装株式会社

各種ガスの高精度質量流量計測に マスフローメータ TF-5000/6000シリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

TF-5000/6000シリーズは気体用熱式質量流量計で、各種ガスの質量流量を圧力・温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。最小フルスケール5mL/min (nor) 、最大フルスケール500L/min (nor) 、最高使用圧力32MPaまでをカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。 特長

■ワイドレンジ

5mL/min (nor) から500L/min (nor) 、最高使用圧力32MPaまでカバーする広い製品レンジで装置組み込みからプロセス制御まで幅広く対応します。

■高精度

各種ガスの質量流量を±1.0% F.S. の高精度で計測します。

■高信頼性

熱理論に基づき長年培った流量計技術により信頼性と耐久性を保証します。

■周辺機器

TM3000コンバータを完備、手軽にシステムを構成することができます。

■動作原理

マスフローメータに流入したガスは、流量センサ部とバイパス部に分流されます。流量センサ部は金属の毛細管と毛細管を加熱する2本の抵抗線が巻かれており、その2本の抵抗線は電気回路の抵抗とブリッジ回路を構成しています。 ブリッジ回路はガスが流れていない時には平衡状態にあり、ガスが流れると上流側抵抗線で加熱された熱が下流側に移動し、ブリッジ回路の平衡がくずれて出力信号が得られます。 熱の移動量はガスの質量流量と比熱で決まり、普通比熱は圧力によらず、温度が大きく変化しなければ一定とみなすことができ、ブリッジ回路の出力信号により圧力、温度の影響を受けずに質量流量を計測できます。このブリッジ回路からの出力は、増幅回路を経てDC0〜5Vの信号として出力されます。

  • シリーズ

    各種ガスの高精度質量流量計測に マスフローメータ TF-5000/6000シリーズ

企業レビュー 4.7

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2025年7月30日にレビュー済み

顧客対応への満足度

価格表及び見積書を依頼し又、修正もお願いしましたが、対応が早くて助かりました。

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Metoree経由で見積もり

2025年3月25日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対応はが早かったについて丁寧にご対応いただき、大変助かりました。

初回対応までの時間への満足度

0.74時間

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2025年2月7日にレビュー済み

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各種ガスの高精度質量流量計測に マスフローメータ TF-5000/6000シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 口径 流量レンジ 流体温度 流体圧力 プロセス接続 測定精度 流量範囲 最小 流量範囲 最大 流量出力信号 応答性能 ガス圧力 周囲およびガス温度 温度影響 スパン影響 温度影響 ゼロ点影響 圧力影響 電源 接ガス材質 管路 接ガス材質 シール 接続 ネジ接続 接続 ガス用継手 接続 フランジ接続
各種ガスの高精度質量流量計測に マスフローメータ TF-5000/6000シリーズ-品番-TF-5310

TF-5310

要見積もり

気体全般 (ただし塩素、硫黄等腐食性ガスを含まない)

1/4、3/8、1/2、3/4、1

最大 : 0 ~ 500 L/min (nor)
最小 : 0 ~ 5m L/min (nor)

5 ~ 50℃

0.98 MPa max. (高圧用:32 MPa max.)

Rcネジ、NPT (F) ねじ、スウェジロック、VCR、JIS10Kフランジ

±1% F.S. (25℃基準)

0~5mL/min (nor)

0~20L/min (nor)

DC0~5V (流量レンジ0~100%に対してリニア)

90%応答3秒以内

-0.03~0.98MPa

5~50℃

±0.1%F.S./℃ Max.

±0.05%F.S./℃ Max.

±0.1%F.S./0.1MPa Max.

DC±15V, +25mA, –5mA

SUS316

フッ素ゴム (標準) またはCR

Rc1/4, 3/8, 1/2
NPT1/4, 3/8, 1/2

OD1/4, 3/8, 1/2スウェジロック

JIS10K 15A~25A

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使用用途

#積算 #半導体プロセス #高温流体 #冷却水監視 #防爆環境 #溶接 #燃費測定 #医療用途

測定原理

電磁式 超音波式 コリオリ式 渦流式

構造方式

タービン式 ギア式 フロート式

出力信号

アナログ出力型 デジタル出力型

表示方式

指針式 デジタル表示型

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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