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■AutoAFM (全自動原子間力プロファイラー)

Insight CAPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長100mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。 また、100mm, 150mm, 200mm, 300mmウェハに対応し、最大130umスキャンサイズと100umのZ方向スキャナー、自動AFMプローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、製造ラインの自動化にフルに対応いたします。

  • シリーズ

    AutoAFM (自動原子間力プロファイラー) InSight CAP

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走査型プローブ顕微鏡 (SPM)注目ランキング

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走査型プローブ顕微鏡 (SPM)注目ランキング (対応の早い企業)

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AutoAFM (自動原子間力プロファイラー) InSight CAP 品番1件

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使用用途

#ラマン測定 #材料評価 #電気特性測定 #ダイナミクス測定 #表面形状観察 #欠陥評価 #研究開発 #非破壊測定 #ケミカルイメージング #マッピング

XYスキャナレンジ µm

10 - 70 70 - 100 100 - 120

Zスキャナレンジ μm

1 - 5 5 - 15 15 - 30

分解能 nm

0 - 1 1 - 100

真空度 nPa

0 - 100 100 - 50,000

到達温度 K

0 - 1 1 - 6 6 - 101

振動ノイズ μm/s

0 - 1 1 - 7

XYステージ駆動範囲 mm

-12 - 0 0 - 20 20 - 200 200 - 300 300 - 400

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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