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■AutoAFM (全自動原子間力プロファイラー)

Insight CAPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長100mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。 また、100mm, 150mm, 200mm, 300mmウェハに対応し、最大130umスキャンサイズと100umのZ方向スキャナー、自動AFMプローブ交換・プローブ先端形状評価機能、ホストとの通信機能も装備できるため、製造ラインの自動化にフルに対応いたします。

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    AutoAFM (自動原子間力プロファイラー) InSight CAP

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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