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薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置-AMF-645SB
薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置-神港精機株式会社

薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置
神港精機株式会社



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この製品について

基礎研究実験に対応したローコストの小型蒸着装置です。 目的に合わせ蒸発機構・基板加熱・冷却機構等各種機構が選択できます。

  • シリーズ

    薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置

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薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 排気系 / 主ポンプ 成膜系 / 基板加熱

EM-330S

要見積もり

全手動

×10-4Pa台

×10-⁴Pa台まで20分以内

油拡散ポンプ

¢3インチ × 4枚

±15%

抵抗加熱

350℃

- -

EM-435S

要見積もり

全手動

×10-⁵Pa台

×10-⁴Pa台まで15分以内

油拡散ポンプ

¢3インチ × 5枚

±15%

抵抗加熱

350℃

- -

AM-645SB

要見積もり -

×10-⁵Pa台

×10-⁴Pa台まで20分以内

油拡散ポンプ

¢4インチ × 6枚

±10%

電子銃

350℃

自動

手動

薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置-品番-AMF-645SB

AMF-645SB

要見積もり -

×10-⁵Pa台

×10-⁴Pa台まで20分以内

油拡散ポンプ

¢4インチ × 6枚

±10%

電子銃

350℃

自動

手動

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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  • 本社所在地: 兵庫県
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