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蒸着装置の製品80点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 | 成膜系 / 膜厚分布 | 成膜系 / 蒸発方式 | 成膜系 / 基板加熱 | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
EM-330S |
要見積もり |
全手動 |
×10-4Pa台 |
×10-⁴Pa台まで20分以内 |
油拡散ポンプ |
¢3インチ × 4枚 |
±15% |
抵抗加熱 |
350℃ |
- | - | ||
EM-435S |
要見積もり |
全手動 |
×10-⁵Pa台 |
×10-⁴Pa台まで15分以内 |
油拡散ポンプ |
¢3インチ × 5枚 |
±15% |
抵抗加熱 |
350℃ |
- | - | ||
AM-645SB |
要見積もり | - |
×10-⁵Pa台 |
×10-⁴Pa台まで20分以内 |
油拡散ポンプ |
¢4インチ × 6枚 |
±10% |
電子銃 |
350℃ |
自動 |
手動 |
||
|
AMF-645SB |
要見積もり | - |
×10-⁵Pa台 |
×10-⁴Pa台まで20分以内 |
油拡散ポンプ |
¢4インチ × 6枚 |
±10% |
電子銃 |
350℃ |
自動 |
手動 |
