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石英ガラスウェーハ移載装置-石英ガラスウェーハ移載装置
石英ガラスウェーハ移載装置-PHT株式会社

石英ガラスウェーハ移載装置
PHT株式会社



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この製品について

本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①~ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。 基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。

  • シリーズ

    石英ガラスウェーハ移載装置

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石英ガラスウェーハ移載装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 直径 厚さ 反り 接触可能範囲 ウェーハ収納ピッチ タクトタイム・移載時間
石英ガラスウェーハ移載装置-品番-石英ガラスウェーハ移載装置

石英ガラスウェーハ移載装置

要見積もり

φ300mm±0.2mm

400~700μm

40μm以下

ウエハ裏面

10mm

6分30秒/25枚以下

フィルターから探す

搬送装置をフィルターから探すことができます

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 50000 50000 - 100000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
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