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搬送装置の製品376点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 搬送対象 | キャリア | 電源電圧 | 消費電流 | 真空 (元圧) | 真空 (流量) | 正圧 (元圧) | 正圧 (流量) | EMO接点出力 | インターロック | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
TYK2102-2 |
要見積もり |
2ポート |
300mmウェーハ径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% |
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む |
-80kPa~-90kPa |
40L/min |
0.6MPa~0.7MPa |
20L/min |
2系統 (ドライ接点) |
入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
||
TYK2102-3 |
要見積もり |
3ポート |
300mmウェーハ径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% |
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む |
-80kPa~-90kPa |
50L/min |
0.6MPa~0.7MPa |
30L/min |
2系統 (ドライ接点) |
入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
搬送装置をフィルターから探すことができます
搬送能力 kg
100 - 500 500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 50000 50000 - 100000走行速度 m/min
10 - 30 30 - 60 60 - 150電源電圧 V
20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250ワークサイズ mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1000