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搬送装置の製品346点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 搬送対象 | キャリア | 電源電圧 | 消費電流 | 真空 (元圧) | 真空 (流量) | 正圧 (元圧) | 正圧 (流量) | EMO接点出力 | インターロック | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TYK2102-2 |
要見積もり |
2ポート |
300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% |
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む |
-80kPa~-90kPa |
40L/min |
0.6MPa~0.7MPa |
20L/min |
2系統 (ドライ接点) |
入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
|
|
|
TYK2102-3 |
要見積もり |
3ポート |
300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% |
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む |
-80kPa~-90kPa |
50L/min |
0.6MPa~0.7MPa |
30L/min |
2系統 (ドライ接点) |
入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
