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EFEM・ソータ-TYK2102-2
EFEM・ソータ-PHT株式会社

EFEM・ソータ
PHT株式会社



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この製品について

■概要

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。

■特徴

・アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能 ・様々ななバリエーション、カスタム対応 ・200mm/300mm兼用可能

  • シリーズ

    EFEM・ソータ

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EFEM・ソータ 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 搬送対象 キャリア 電源電圧 消費電流 真空 (元圧) 正圧 (元圧) EMO接点出力 インターロック
EFEM・ソータ-品番-TYK2102-2

TYK2102-2

要見積もり

2ポート

300mmウェーハ径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm

300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1)
300mm FOSB 25段 (SEMI M31)

単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%

4kVA (20A/200VAC) FFUを含む

-80kPa~-90kPa

40L/min

0.6MPa~0.7MPa

20L/min

2系統 (ドライ接点)

入力8点/出力8点 (絶縁I/O)

EFEM・ソータ-品番-TYK2102-3

TYK2102-3

要見積もり

3ポート

300mmウェーハ径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm

300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1)
300mm FOSB 25段 (SEMI M31)

単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%

4kVA (20A/200VAC) FFUを含む

-80kPa~-90kPa

50L/min

0.6MPa~0.7MPa

30L/min

2系統 (ドライ接点)

入力8点/出力8点 (絶縁I/O)

フィルターから探す

搬送装置をフィルターから探すことができます

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 50000 50000 - 100000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都
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