EFEM・ソータ
PHT株式会社

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この製品について

■概要高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。

■特徴・アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
・様々ななバリエーション、カスタム対応
・200mm/300mm兼用可能

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
EFEM・ソータ

取扱企業
PHT株式会社

カテゴリ

搬送器具・装置

搬送装置

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EFEM・ソータ品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	ポート数 2ポート 3ポート	搬送対象	キャリア	電源電圧	消費電流	真空 (元圧)	真空 (流量) 40L/min 50L/min	正圧 (元圧)	正圧 (流量) 20L/min 30L/min	EMO接点出力	インターロック
		TYK2102-2	要見積もり	2ポート	300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm	300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31)	単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%	4kVA (20A/200VAC) FFUを含む	-80kPa~-90kPa	40L/min	0.6MPa~0.7MPa	20L/min	2系統 (ドライ接点)	入力8点/出力8点 (絶縁I/O)
		TYK2102-3	要見積もり	3ポート	300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm	300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31)	単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%	4kVA (20A/200VAC) FFUを含む	-80kPa~-90kPa	50L/min	0.6MPa~0.7MPa	30L/min	2系統 (ドライ接点)	入力8点/出力8点 (絶縁I/O)