全てのカテゴリ

閲覧履歴

ウェーハ搬送ロボット-PHT-R-4-2022
ウェーハ搬送ロボット-PHT株式会社

ウェーハ搬送ロボット
PHT株式会社

PHT株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

57.3時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0~180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

  • シリーズ

    ウェーハ搬送ロボット

この製品を共有する


810人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前


返答率: 100.0%


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

見積もりの使い方

ウェーハ搬送ロボット 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 設置環境 アーム 動作範囲 動作速度 (最速) 可搬質量 被搬送物 ウェーハ保持方式 機械構造形式 制御軸 モータタイプ 重量 制御ケーブル 制御仕様 (1) 制御仕様 (2) 繰り返し精度 クリーン度 定格電圧 定格電流
ウェーハ搬送ロボット-品番-PHT-R-4-2022

PHT-R-4-2022

要見積もり

クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70%RH以下

シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック

X軸:500mm
θ軸:340deg
Z軸:300mm
ハンド回転:0~180°

X軸:500mm/sec
θ軸:200deg/sec
Z軸:250mm/sec
ハンド回転:180deg/sec

3kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計)

~300mmウェーハ

真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド

水平多関節型 円筒座標系

4軸

ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様

本体重量:約47kg
コントローラ:約8kg

3m (標準) ・5m・10m

パラレルインターフェース 入力32点 出力32点

シリアルインターフェース RS-232C×1回線

±0.1mm以下

ISOクラス2 (0.1μm以上 10個/m³以下)

単相AC200~230V±10%

5A真空:-80kPa以下 10NL/min以上

フィルターから探す

クリーンロボットをフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体製造 #液晶製造 #クリーンルーム管理 #医療機関 #自動搬送 #表面清掃

駆動方式

車輪型 無人型

動作機構

回転ブラシ型 吸引型

センサー技術

超音波センサー型 赤外線センサー型

クリーン度

Class 1 Class 2 Class 3

可搬質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10

繰り返し精度 mm

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2

ロボット形状

2軸円筒座標形 3軸円筒座標形 4軸円筒座標形

本体質量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000

定格電圧 V

0 - 50 50 - 250

運転時間 時間

0 - 2 2 - 4 4 - 6 6 - 10 10 - 15 15 - 20

清掃幅 mm

0 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

この商品を見た方はこちらもチェックしています

クリーンロボットをもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

57.3時間

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2025 Metoree