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クリーンロボットの製品27点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 設置環境 | アーム | 動作範囲 | 動作速度 (最速) | 可搬質量 | 被搬送物 | ウェーハ保持方式 | 機械構造形式 | 制御軸 | モータタイプ | 重量 | 制御ケーブル | 制御仕様 (1) | 制御仕様 (2) | 繰り返し精度 | クリーン度 | 定格電圧 | 定格電流 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
PHT-R-4-2022 |
要見積もり |
クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70％RH以下 |
シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック |
X軸：500mm |
X軸：500mm/sec |
3kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) |
~300mmウェーハ |
真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド |
水平多関節型 円筒座標系 |
4軸 |
ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様 |
本体重量：約47kg |
3m (標準) ・5ｍ・10ｍ |
パラレルインターフェース 入力32点 出力32点 |
シリアルインターフェース RS－232C×1回線 |
±0.1mm以下 |
ISOクラス2 (0.1μm以上 10個/ｍ³以下) |
単相AC200~230V±10% |
5A真空：-80kPa以下 10NL/min以上 |
