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ウェーハ搬送ロボット-PHT-R-4-2022
ウェーハ搬送ロボット-PHT株式会社

ウェーハ搬送ロボット
PHT株式会社



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この製品について

クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0~180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

  • シリーズ

    ウェーハ搬送ロボット

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ウェーハ搬送ロボット 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 設置環境 アーム 動作範囲 動作速度 (最速) 可搬質量 被搬送物 ウェーハ保持方式 機械構造形式 制御軸 モータタイプ 重量 制御ケーブル 制御仕様 (1) 制御仕様 (2) 繰り返し精度 クリーン度 定格電圧 定格電流
ウェーハ搬送ロボット-品番-PHT-R-4-2022

PHT-R-4-2022

要見積もり

クリーンルーム内 大気中 温度10℃~35℃ 湿度70%RH以下

シングルアーム 材質 アルミ・CFRP・セラミック

X軸:500mm
θ軸:340deg
Z軸:300mm
ハンド回転:0~180°

X軸:500mm/sec
θ軸:200deg/sec
Z軸:250mm/sec
ハンド回転:180deg/sec

3kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計)

~300mmウェーハ

真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド

水平多関節型 円筒座標系

4軸

ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様

本体重量:約47kg
コントローラ:約8kg

3m (標準) ・5m・10m

パラレルインターフェース 入力32点 出力32点

シリアルインターフェース RS-232C×1回線

±0.1mm以下

ISOクラス2 (0.1μm以上 10個/m³以下)

単相AC200~230V±10%

5A真空:-80kPa以下 10NL/min以上

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都
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