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FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-PD-APX300-PD
FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-PD-パナソニックインダストリー株式会社

FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-PD
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この製品について

■APX300-PDは半導体工場の自動化・高生産性を実現するマルチチャンバーシステムです。パナソニック独自のチャンバーをさらに進化させ、高速・高均一性ダイシングを実現しました。益々進化する最先端半導体の製造に重要なクリーン加工に貢献します。

・同じチャンバーで異なる材質の連続加工が可能 (Si+絶縁膜※ ) ・プラズマの密度分布のコントロールにより、高均一性を実現 ・ダメージレス高速加工を実現 (Si:Etching rate ≧35um/min SiO2:Etching rate ≧0.5um/min) ・パーティクルフリーによりクリーン加工を実現 ・半導体工場に対応したマルチチャンバーシステム (最大4チャンバー) ・300mmウエハ、300mmリング付きウエハに対応

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    FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-PD

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FA 半導体関連システム プラズマダイサー APX300-PD 品番1件

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会社概要

パナソニックインダストリー株式会社は、電子部品・産業デバイス・電子材料の開発・製造・販売を行う、パナソニックホールディングス傘下の大手メーカーです。 2022年に創業し、メカトロニクス・産業デバイス・デバイスソリューシ...

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  • 本社所在地: 大阪府

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