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ピエゾステージ 鏡筒用 PFR150-080U-PFR150-080U
ピエゾステージ 鏡筒用 PFR150-080U-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ 鏡筒用 PFR150-080U
THKプレシジョン株式会社

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この製品について

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査、測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります。

■各メーカの対物レンズが取り付け可能

・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ

■横型タイプ

本体の厚みを抑えた構造です。ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。

■縦型タイプ

剛性が高く応答性を重視したタイプです。重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。

■箱型タイプ

対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。

■鏡筒用

顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。

■製品応用例

・高速フォーカス ・画像処理機器 ・共焦点顕微鏡 ・レーザ加工 ・半導体、FPD装置 ・干渉計形状測定

  • シリーズ

    ピエゾステージ 鏡筒用 PFR150-080U

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ピエゾステージ 鏡筒用 PFR150-080U 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 分解能 繰り返し位置決め精度 共振周波数 ピッチング ヨーイング ローリング 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ 鏡筒用 PFR150-080U-品番-PFR150-080U

PFR150-080U

要見積もり

・クローズ時 80μm
・オープン時 100μm

2nm

±2nm

・0g負荷時 590Hz
・2,500g負荷時 230Hz

3"/3"/3"

静電容量式変位センサ

0.1%

11.2μF

0.15μm/N

・質量 1,500g
・材質 アルミ+銅
・表面処理 黒アルマイト+無電解ニッケルメッキ

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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