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ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用-PT1M36-500S
ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。高速振動や高い位置再現性に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。

■大径ミラーにもカスタム対応

駆動源のピエゾ素子は高い発生力 (数百Nクラス) を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。

■角度制御も容易

角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。

■製品応用例

・光軸調整 ・キャビティ調整 ・レーザ光走査 ・レーザ加工 ・チルト調整 ・光バイオ

  • シリーズ

    ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用

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ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大振れ角 分解能 繰り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 モーメント剛性 本体
ピエゾステージ 光学ミラーアライメント用-品番-PT1M36-500S

PT1M36-500S

要見積もり

・クローズ時 500"秒≒0.14°≒2.4mrad
・オープン時 630"秒≒0.175°≒3.1mrad

0.05"秒≒0.24μrad

±0.05"秒≒±0.24μrad

0.3N

・0g負荷時 8,000Hz
・g負荷時 4,100Hz (7g)

静電容量式変位センサ

0.2%

1.4μF

290"秒/Nm

・質量 100g
・材質 アルミ
・表面処理 黒アルマイト

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都

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