ピエゾステージ光学ミラーアライメント用
THKプレシジョン株式会社

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この製品について

光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。高速振動や高い位置再現性に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。

■大径ミラーにもカスタム対応駆動源のピエゾ素子は高い発生力 (数百Nクラス) を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。

■角度制御も容易角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。

■製品応用例・光軸調整
・キャビティ調整
・レーザ光走査
・レーザ加工
・チルト調整
・光バイオ

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ピエゾステージ光学ミラーアライメント用

取扱企業
THKプレシジョン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

位置決めステージ

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ピエゾステージ光学ミラーアライメント用品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大振れ角	分解能	繰り返し位置決め精度	耐荷重	共振周波数	内蔵変位センサ	リニアリティ	圧電素子静電容量	モーメント剛性	本体
	PT1M36-500S	要見積もり	・クローズ時 500"秒≒0.14°≒2.4mrad ・オープン時 630"秒≒0.175°≒3.1mrad	0.05"秒≒0.24μrad	±0.05"秒≒±0.24μrad	0.3N	・0g負荷時 8,000Hz ・g負荷時 4,100Hz (7g)	静電容量式変位センサ	0.2%	1.4μF	290"秒/Nm	・質量 100g ・材質アルミ・表面処理黒アルマイト