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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR-GR60A
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR-株式会社アルバック

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR
株式会社アルバック

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この製品について

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

■特長

・大気~真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能 ・高スループットを求めるロードロック室 (仕込取出室) の排気に最適 ・汎用インダクションモータに対応 ・防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能 (オプション) ・マルチ電圧対応モータを採用

■用途

・エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 ・各種成膜装置の仕込取出室の排気 ・真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途 ・真空断熱やガス充填などの真空ガス置換

  • シリーズ

    多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR

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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 50Hz (m3/h (L/min) ) 最大排気速度 60Hz (m3/h (L/min) ) 到達圧力 (Pa) 最大吸気口圧力 最大排気口圧力 (Pa) 吸気口 排気口 DRP表面処理 モータ (出力 (kW) ) モータ (電圧 (V) 50Hz) モータ (電圧 (V) 60Hz) 質量 (kg) 冷却方式 (冷却水一次供給圧力) (MPa) 冷却方式 (冷却水出入口差圧) (MPa) 冷却方式 (冷却水温度) (℃) 冷却方式 (冷却水流慮) (L/min) 窒素ガス (一次供給圧力) (MPa) 窒素ガス (二次側調整圧力) (MPa) 窒素ガス (軸) (SLM)
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR-品番-GR60A

GR60A

要見積もり

62 (1,860)

80 (1,333)

5

大気圧

1~大気圧

VG50

NW40

2.2

200~240/380~415

200~240/380~460

128

0.1~0.3

>0.1

10~30 *2

>5.0

0.1~0.5

0.05~0.1 (運転時)

5.0 *4

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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