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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR-GR60A
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR-株式会社アルバック

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR
株式会社アルバック

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この製品について

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

■特長

・大気~真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能 ・高スループットを求めるロードロック室 (仕込取出室) の排気に最適 ・汎用インダクションモータに対応 ・防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能 (オプション) ・マルチ電圧対応モータを採用

■用途

・エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 ・各種成膜装置の仕込取出室の排気 ・真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途 ・真空断熱やガス充填などの真空ガス置換

  • シリーズ

    多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR

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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 50Hz (m3/h (L/min) ) 最大排気速度 60Hz (m3/h (L/min) ) 到達圧力 (Pa) 最大吸気口圧力 最大排気口圧力 (Pa) 吸気口 排気口 DRP表面処理 モータ (出力 (kW) ) モータ (電圧 (V) 50Hz) モータ (電圧 (V) 60Hz) 質量 (kg) 冷却方式 (冷却水一次供給圧力) (MPa) 冷却方式 (冷却水出入口差圧) (MPa) 冷却方式 (冷却水温度) (℃) 冷却方式 (冷却水流慮) (L/min) 窒素ガス (一次供給圧力) (MPa) 窒素ガス (二次側調整圧力) (MPa) 窒素ガス (軸) (SLM)
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR-品番-GR60A

GR60A

要見積もり

62 (1,860)

80 (1,333)

5

大気圧

1~大気圧

VG50

NW40

2.2

200~240/380~415

200~240/380~460

128

0.1~0.3

>0.1

10~30 *2

>5.0

0.1~0.5

0.05~0.1 (運転時)

5.0 *4

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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