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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR-HR60
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR-株式会社アルバック

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR
株式会社アルバック

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この製品について

ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっています。 特長

■高温領域で均熱化

CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能。URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。

■ヘリウムタイト

キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。

■瞬停対策

1,000msec以内の瞬停対策を施しています。

■優れた耐食性

主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。

■通信機能

ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能。

■用途

・CVD 装置 ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・ALD、ALH など

  • シリーズ

    多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR

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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用ポンプ (DRP) 最大排気速度 到達圧力 最大吸気口圧力 (吸入圧力) 最大排気口圧力 (排出圧力) 吸気口 (CE仕様) 排気口 質量 電力 (三相) 電流値 (定常時/最大値) 冷却水一時圧力 冷却水出入口差圧 冷却水流量 パージガス (一次圧力) パージガス (二次圧力) N2パージ (軸) N2パージ (ガスバラ)
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR-品番-HR60

HR60

要見積もり

HR60

50Hz62 (1030) m3/h (L/min) 60Hz80 (1333) m3/h (L/min)

5.0Pa

大気圧

1~大気圧Pa

VG50 (KF50)

KF40

180kg

200 (50/60) , 220 (60) VAC (Hz)

7.1A (200V時) /7.3A (200V時)

0.1~0.3MPa

>0.1Mpa

>5.0L/min

0.1~0.5MPa

0.05~0.1MPa

5SLM

0~45SLM

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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