多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR
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この製品について

ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっています。

特長
■高温領域で均熱化CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能。URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。

■ヘリウムタイトキャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。

■瞬停対策1,000msec以内の瞬停対策を施しています。

■優れた耐食性主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。

■通信機能ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能。

■用途・CVD 装置
・エッチング装置
・アッシング装置
・ALD、ALH など

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR

取扱企業
株式会社アルバック

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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用ポンプ (DRP)	最大排気速度	到達圧力	最大吸気口圧力 (吸入圧力)	最大排気口圧力 (排出圧力)	吸気口 (CE仕様)	排気口	質量	電力 (三相)	電流値 (定常時/最大値)	冷却水一時圧力	冷却水出入口差圧	冷却水流量	パージガス (一次圧力)	パージガス (二次圧力)	N2パージ (軸)	N2パージ (ガスバラ)
	HR60	要見積もり	HR60	50Hz62 (1030) m3/h (L/min) 60Hz80 (1333) m3/h (L/min)	5.0Pa	大気圧	1~大気圧Pa	VG50 (KF50)	KF40	180kg	200 (50/60) , 220 (60) VAC (Hz)	7.1A (200V時) /7.3A (200V時)	0.1~0.3MPa	>0.1Mpa	>5.0L/min	0.1~0.5MPa	0.05~0.1MPa	5SLM	0~45SLM