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ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1-P15.XY100S-C1
ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1-ワイヤード株式会社

ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1
ワイヤード株式会社

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ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い分解能を持ち、非常に優れた移動直線性と平面性、およびより高い機械的強度を備えています。主に顕微鏡ステッピング移動などで使用され、光学システムの解像度を向上させるための高速なステップおよび安定した移動を実現します。これには、カメライメージングプロセス技術や生物認識技術など、光学系におけるアプリケーションが含まれます。また、特徴的な点として、中央に大きな貫通穴があるということが挙げられます。これにより、より良い光学パス条件を光学系に提供することができます。 ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、透光精密光学デバイスの位置合わせと調整に主に使用され、顕微鏡や分析機器と組み合わせて位置合わせや測定に使用されます。これには、走査プローブ顕微鏡 (例 原子間力顕微鏡) 、ナノポジショニング、計測、生物学研究、マイクロエレクトロニクス、マイクロ操作、精密制御などの応用があります。 ピエゾ位置決めステージP15は、高速かつ高精度な2Dおよび3D移動とナノ位置決めテーブルで、非常に高度な真直度を備えています。中央に66x66mmの貫通穴があり、近接場スキャン、共焦点顕微鏡、マスク位置決めなどの透過光アプリケーションに適しています。

■製品の特徴

・3軸制御、ストローク300μm/軸 ・摩擦のない高精度なフレキソ誘導システム ・オプションでクローズドループセンサーを用意できる ・高い位置決め平坦度 ・貫通穴 66×66mm ・真空仕様あり

  • シリーズ

    ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1

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ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 動作方向 駆動制御 移動範囲 (0~120V) (μm±10%) 移動範囲 (0~150V) (μm±10%) センサータイプ スルーホールサイズ (mm) クローズド/オープンループ分解能 (nm) 閉ループ直線性 (%F.S.) クローズドループの繰り返し位置決め精度 ピッチ/ヨー/ロール (μrad) プッシュ/プル (N) 運動方向剛性 (N/μm±20%) 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) 負荷による共振周波数 (Hz±20%) キャリングキャパシティ (kg) 静電容量 (μF±20%) 素材 重量 (g±5%)
ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1-品番-P15.XY100S-C1

P15.XY100S-C1

要見積もり

X、Y

2軸

80/シャフト

100/シャフト

SGS

66x66

3.5/1

0.15

0.1%F.S.

<30

60/10

0.6

200

45 (@6kg)

前方6/後方6/水平0.5

10.8/軸

スチール、アルミニウム

<1.1

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ワイヤード株式会社は、オーダーメイドのシステム装置・位置決め装置を設計・開発・製造するメーカーです。 1999年に創立し、長年の位置決め装置開発のノウハウにより、ニーズに応じたカスタム検査装置、光学システム製品、光学設...

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  • 本社所在地: 東京都
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