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ピエゾ位置決めステージ 300μm P15XYZ P15.XY100S-C1取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 動作方向 | 駆動制御 | 移動範囲 (0～120V) (μm±10%) | 移動範囲 (0～150V) (μm±10%) | センサータイプ | スルーホールサイズ (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループの繰り返し位置決め精度 | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | プッシュ/プル (N) | 運動方向剛性 (N/μm±20%) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 負荷による共振周波数 (Hz±20%) | キャリングキャパシティ (kg) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | 重量 (g±5%) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P15.XY100S-C1 |
要見積もり |
X、Y |
2軸 |
80/シャフト |
100/シャフト |
SGS |
66x66 |
3.5/1 |
0.15 |
0.1%F.S. |
<30 |
60/10 |
0.6 |
200 |
45 (＠6kg) |
前方6/後方6/水平0.5 |
10.8/軸 |
スチール、アルミニウム |
<1.1 |
