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顕微鏡ピエゾ位置決めステージ P79.XYZ50S-B2取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 運動軸方向 | 移動範囲 (0～120V) (μm±20%) | 移動範囲 (0～150V) (μm±20%) | センサータイプ | 貫通穴サイズ (mm) | クローズド/オープンループ分解能 (nm) | 閉ループ直線性 (%F.S.) | クローズドループ繰り返し位置決め精度 (%F.S.) | ピッチ/ヨー/ロール (μrad) | プッシュ/プル (N) | 運動方向剛性 (N/μm±20%) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間 | キャリングキャパシティ (kg) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | 重量 (g±5%) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
P79.XYZ50S-B2 |
要見積もり |
X、Y、Z |
40/シャフト |
50/シャフト |
SGS/- |
84×65 |
1.5/0.5 |
0.1/- |
0.05/- |
<20 |
25/- |
0.5 |
X499/Y589/Z470 |
30/6ms±20% |
0.5 |
3.2/シャフト |
スチール、アルミニウム |
1,400 |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
