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キャリア基板受入れ洗浄装置-PWG-2501
キャリア基板受入れ洗浄装置-PHT株式会社

キャリア基板受入れ洗浄装置
PHT株式会社

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この製品について

■製品特徴

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています。そのガラスキャリア基板の搬送および洗浄装置の提案が可能です。

■導入事例

本装置は、ガラス基板受入洗浄に使用します。薬液は使用せず純水 (DIW) のみを使用します。 洗浄プロセスと装置構成。プロセスは、下記の順番となっています。 (1) 投入コンベア → (2) アイドル → (3) 2流体シャワー洗浄 → (4) ブラシ洗浄 → (5) 純水シャワー洗浄 → (6) 純水による最終リンス洗浄 → (7) 吸水ローラによる水切 → (8) エアーナイフによるスリットノズル乾燥 (9) イオナイザーブロー乾燥LD＆ULD付です。 (ロードポート付帯)

  • シリーズ

    キャリア基板受入れ洗浄装置

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キャリア基板受入れ洗浄装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 投入コンベア部 アイドルポジション シャワー (1) ブラシ洗浄部 シャワー (2) シャワー (3) 水切りローラ部 エアー乾燥部 イオナイザー
キャリア基板受入れ洗浄装置-品番-PWG-2501

PWG-2501

要見積もり

600 mm × 板厚 0.7~1.2 mm 1枚投入可

洗浄投入待機部、排気機能付帯

純水シャワー＋2流体ノズル洗浄

純水シャワー洗浄＋スパイロールブラシ

純水によるリンス洗浄

純水による最終リンス洗浄

吸水ローラによる水切り

エアーナイフによる乾燥

イオナイザーブロー乾燥

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使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

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この商品の取り扱い会社情報

PHT株式会社

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会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都

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