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超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ-LFC7000シリーズ
超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ-ファーストゲート株式会社

超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ
ファーストゲート株式会社

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この製品について

■LFC-7000シリーズ

一定量の気体を含む流体でも高精度な流量制御が可能な超音波式流量コントローラー 高速・高精度のモーターがバルブ(ピンチorダイアフラム)を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、安定した制御をご提供いたします。 【 仕様 】 ◆接液部材質 ： PFA、PTFE ◆流量レンジ ： 50 ～ 12,000ml/min ◆適合温度　 ： 10 ～ 60℃(50 ～ 140℉) ◆再現性　　 ： ±1% of set point or ±1,L/min (いずれか大きい方) ◆精度　　　 ： ±1% of set point or ±3mL/min (いずれか大きい方)*R.T DIWの場合

  • シリーズ

    超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ

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超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 接液部材質 最大測定流量 アナログ出力モジュール 適用温度 プロセスとの接続 メーカー名
超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ-品番-LFC7000シリーズ

LFC7000シリーズ

要見積もり

PFA、PTFE

50 ~ 12,000ml/min

0-10Vdc or 4-20mA

10 ~ 60℃

1/4 or 3/8inch

MALEMA

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使用用途

#エネルギー設備 #コーティング #バイオ医薬研究 #研究開発 #製造装置 #排水処理 #半導体製造 #薬液管理

入力レンジ ℃

0 - 200 200 - 1,800

制御動作

AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作

サンプリング周期

0.02 0.05 0.1 0.25 0.5

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会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
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