nano Benchtop series コンパクト薄膜実験装置 nanoシリーズ-nanoPVD-S10A

nano Benchtop series コンパクト薄膜実験装置 nanoシリーズ
テルモセラ・ジャパン株式会社

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この製品について

特徴
■高品質膜研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を揃えます。nanoシリーズは魂魄とボディに機能を凝縮した高性能装置です。

■高真空欠陥が少なく高品質な成膜に欠かせない要素である高真空環境を確保する堅牢で機密性が高いステンレスチャンバー・十分な排気能力を持つ高真空ポンプを採用しています。

■圧力制御APC (Automatic Pressure Control) :キャパシタンスマノメータの出力信号で MFCガス供給量を自動 PID ループ調整し、高速かつ正確にプロセス圧力を自動制御します。

■均一性蒸着において膜厚均一性を左右する「基板 - ソース間」の十分な調整可能距離を有し ,又、基板回転・傾斜などのオプションにより均一性の高い薄膜を得ることができます。

■操作性nano シリーズ全機種に共通する「シンプルデザイン」、分かりやすい操作画面、扱いやすさで従来の真空装置の煩わしさを解消。開発効率化と生産性向上に寄与します。

■オプションそれぞれの使用目的・プロセス環境に合わせ、仕様条件を満たす様々なオプションを豊富に準備しております。最適な構成をご提案しますのでお気軽にご相談ください。

■高機能シリーズ共通のパワフルな基本制御システムʼ IntelliDepʼ。プロセス条件設定・ハードウエア調整 / 制御・プログラム作成・実行などの全てを前面タッチパネルで行います。

■拡張ソフト装置起動 / 停止・真空 / ベント・ハードウエア制御以外の全ての IntelliDep 機能を外部 PC で行うことができる拡張ソフトウエアです。開発業務の効率化に寄与します。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
nano Benchtop series コンパクト薄膜実験装置 nanoシリーズ

取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

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スパッタリング装置

加工・工作機器

成膜装置

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nano Benchtop series コンパクト薄膜実験装置 nanoシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	到達真空度	基板サイズ	カソード	ガス系統	APC制御	成膜運転	真空ポンプ	真空計	膜厚センサ	基板回転	上下昇降	シャッター	オプション
	nanoPVD-S10A	要見積もり	<5x10-7mbar	最大4inch	Φ2inch x 最大3	3系統 (標準) Ar, O2, N2	PIDループ自動圧力制御 (又は、手動)	自動連続多層膜、同時成膜 (2源同時成膜)	ターボ分子 , ロータリー (又はスクロール)	ワイドレンジゲージ	水晶振動子膜厚センサー	モーター駆動 30段階速度可変式	手動式	基板シャッター	・磁性材料用カソード , 基板ヒーター, 他・グロー放電モジュール , 傾斜ステージ , 他