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ウエハ関連 AFM (原子間力顕微鏡) 汎用AFM群 Park NX-Hivac
ヤマトマテリアル株式会社

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■概要

AFM原子間力顕微鏡。AFMパークシステムズ。研究用・生産ライン用・バイオ、ケミカル用に幅広くラインナップ。完全非接触。マイクロレンズアレイ計測。生産ライン用ウエハ搬送機構。自動欠陥検査と表面粗さ計測用最先端AFM。自動欠陥検査機能を備えた原子間力プロファイラー。

■世界で唯一の非接触AFM

パーク・システムズ社製AFMは、完全非接触モードTMを有する唯一の顕微鏡でサンプルの表面を傷つけることなく測定を繰り返すことが可能です。 完全非接触モードTMはピエゾモジュレーターがカンチレバーを小さな振幅でカンチレバーの固有共振周波数付近で振動させます。チップがサンプルに近づくと引力がチップとサンプルの間に働き、カンチレバーの振動振幅と位相に影響を及ぼします。これらの増幅と位相の変化がZサーボフィードバックシステム (特許) によりモニターされています。これにより、サンプル表面やチップを損傷することなく、チップとサンプル間の距離を数ナノメートルに保つことが可能です。

■利点

・チップの損傷を低減し、高分解能スキャンを長く維持できる。 ・非破壊のチップとサンプルの相互作用により、サンプルの損傷を低減できる。 ・測定結果のパラメーターへの依存性を小さくすることができる。

■Park NX-Hivac

故障解析および環境に影響の受けやすい材料の為の最先端高真空AFM

  • シリーズ

    ウエハ関連 AFM (原子間力顕微鏡) 汎用AFM群 Park NX-Hivac

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ヤマトマテリアル株式会社は、容器・包装、アクア、生産システム、エレクトロニクス関連商品の専門商社です 1889年ガラス製品事業で創業、1948年にヤマト硝子株式会社として設立されました。1963年以降オリジナル商品の企...

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