プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP650W (ウエハ50枚一括処理)-YSP650W

プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP650W (ウエハ50枚一括処理)
ヤマトマテリアル株式会社

ヤマトマテリアル株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

69.6時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要同軸型バレルアッシャー、等方性プラズマ装置です。50枚のウエハを一括処理可能な同軸縦型プラズマアッシャー装置。永年ご使用になったアッシャー装置の更新にチャンバーを搭載。ウエハを両面クリーニングしたい用途にもご利用いただけます。

デモ機を保有しております。ウエハのレジスト剥離、メッキ前洗浄。デスカム処理などにご検討ください。

■特徴・6インチウエハと8インチウエハに対応で省フットプリントを実現 (4インチウエハ、5インチウエハはオプション対応) 
・低ダメージでレジストアッシング及びウエハの表面改質が可能
・多様なプロセスに使用可能なフルオートマチックドライアッシング

■分野・電子デバイス・パワーデバイス (SiC,GaN ) 
・高周波デバイスや光半導体 (SiC,GaAs,InP,GaN,InGaAlP,InGaN ) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP650W (ウエハ50枚一括処理)

取扱企業
ヤマトマテリアル株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

エッチング装置

加工・工作機器

プラズマエッチング装置

半導体製造

アッシング装置

この商品に関する問題を報告する

10人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

エッチング装置注目ランキング

エッチング装置の製品40点中、注目ランキング上位6点

電解エッチングユニット『CEL-03』

トルーソルテック株式会社

670人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

プラズマ処理装置マルチチャンバ ICP エッチング装置

神港精機株式会社

440人以上が見ています

最新の閲覧: 4分前

高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

420人以上が見ています

最新の閲覧: 19時間前

プラズマエッチング装置 EXAM

神港精機株式会社

400人以上が見ています

最新の閲覧: 4分前

プラズマ処理装置 ICPメタルエッチング装置

神港精機株式会社

360人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

2周波独立印加方式ドライエッチング装置

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

350人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

プラズマ装置プラズマアッシング装置 YSP650W (ウエハ50枚一括処理) 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対応プロセス	高周波出力	発信周波数	ウエハサイズ	ウエハ搬送	チャンバー材質	反応ガス	反応ガス流量制御	真空ポンプ	パージガス	装置外形寸法
	YSP650W	要見積もり	アッシング・エッチング	600W (Max)	13.56MHz (水晶発振器)	6インチ、8インチ	2フィンガークリーンロボット	石英	酸素 1 増設ポート 1	マスフローコントローラー	別途ご用意いたします (オプション) 。	窒素または、ドライエアー	幅640X奥行1,340X高さ1,900mm