XYステージ VBシリーズ
バキュームプロダクツ株式会社

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この製品について

■概要ベースフランジを基準にXYに移動させます。高精度のリニアガイドを使用していますので、再現性の良い真空内の位置決めが容易に行えます。

■特長オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	接続フランジ	移動量 (mm)	寿命	リーク量	ベーキング温度
	VB70	要見積もり	ICF70	7.5	10,000回	2×10-11Pa・m3/sec以下	最高200℃