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ロボットハンド開発 ウェハ搬送 ECタイプ-ECタイプ FORK 薄型タイプ
ロボットハンド開発 ウェハ搬送 ECタイプ-株式会社ハーモテック

ロボットハンド開発 ウェハ搬送 ECタイプ
株式会社ハーモテック



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この製品について

■ウェハのエッジエクスリージョンをサポート

従来型では薄加工や成膜処理によって反りや撓みが大きいウェハを、非接触搬送することが非常に困難でした。そこでKUMADEの細部の見直しを行うことにより、ウェハの外周以外に触れることなく、表裏面とも兼用可能な非接触搬送ハンドを新たに開発することに成功しました。

■適用ウェハ例

・TAIKO ・MEMS ・薄ウェハ

■FORK 薄型タイプ

・ロボット用エンドエフェクターとして使用可能 ・ウェハカセットへのアクセスが可能 ・ウェハへのパーティクル転写の解消 ・ウェハ表面へのローディングアクセスが可能 ・静電気帯及び剥離帯電の解消 ・搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

■CIRCLE 広面積保持タイプ

・ロボット用エンドエフェクターとして使用可能 ・チャックステージとして使用可能 ・極薄ウェハへのストレスフリー ・極薄ウェハ搬送時のワレ・クラック解消 ・コインスタック式搬送ケースへの対応可能 ・ウェハへのパーティクル転写の解消 ・ウェハ表面へのローディングアクセスが可能 ・静電気帯及び剥離帯電の解消 ・搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

■HOLDER マニュアルピンセットタイプ

・極薄ウェハハンドリング用手動ピンセット ・ウェハへのストレスフリー ・小径から大口径まで対応 ・ウェハカセットへのアクセス対応

  • シリーズ

    ロボットハンド開発 ウェハ搬送 ECタイプ

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ロボットハンド開発 ウェハ搬送 ECタイプ 品番1件

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ロボットハンド開発 ウェハ搬送 ECタイプ-品番-ECタイプ FORK 薄型タイプ

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社ハーモテックは、1983年に有限会社アポロエンジニアリングとして設立され、1987年に株式会社に組織変更を行い、現在の社名となっています。 本社および本社工場は、2013年より山梨県甲府市に置かれています。 半...

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  • 本社所在地: 山梨県
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