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この製品について

半導体、液晶などの製造装置や検査装置、またクリーンブース、クリーンベンチ、ストッカーなど各種クリーン機器に欠かすことのできないファンフィルターユニット (FFU) 。 トーアメックではパナソニックエコシステムズ株式会社製のクリーンモジュールユニットを取り扱っております。 薄型で大風量を確保できるDCタイプや豊富なラインナップの中から機種選定が可能なACタイプ、寸法変更、フィルター仕様変更などの特注対応品、さらに海外規格 (CE) 対応品も用意しております。様々なご要望にお応えし、最適なご提案でクリーン度確保に貢献いたします。FFUだけでなく、クリーンブース等も承ります。

■特徴

・薄型デザイン ・低騒音･低入力化 ・風量 (強／弱) 切替 ・豊富な機種陣容

  • シリーズ

    ACモータ搭載タイプ

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