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グリッドレスイオン源 GLISシリーズ-GLIS-C12
グリッドレスイオン源 GLISシリーズ-アリオス株式会社

グリッドレスイオン源 GLISシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

本イオンビーム源は、DC放電式のグリッドレスイオン源です。イオン生成とイオン加速を同時に行う動作原理により極めてシンプルな構造になっています。 強力な磁気回路と電極構造により低圧力状態でも安定した動作が可能です。基板のクリーニング等の用途に最適です。オプションの中和器を用いることで絶縁物への対応も可能です。

■用途例

・成膜装置の基板クリーニング ・分析装置の基板クリーニング ・イオンビームスパッタ

■イオン電流密度 条件

・電極-プローブ間距離：60mm ・排気系：260L/s TMP (N2) +250L/min DP ・圧力：3.7×10^-2Pa (Ar.1sccm) 7.0×10^-2Pa (Ar.2sccm)

■標準構成

・イオン源本体 ・専用2kV DC電源 (DCPS-201) ・ケーブル類 一式

■オプション

・フィラメント中和器 ・点火装置 (高電圧パルス印加タイプ[自動])

  • シリーズ

    グリッドレスイオン源 GLISシリーズ

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グリッドレスイオン源 GLISシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 放電室 加速電圧 イオン照射口 絶縁体 ベーキング ガス導入口 接続フランジ 冷却方法
グリッドレスイオン源 GLISシリーズ-品番-GLIS-C12

GLIS-C12

要見積もり

SUS

MAX 2,000V

φ12mm ※形状変更可

アルミナ

最大 200℃

1/4 VCRTM

φ70CF

自然空冷

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この商品の取り扱い会社情報

アリオス株式会社

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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