グリッドレスイオン源 GLISシリーズ
アリオス株式会社

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この製品について

■概要本イオンビーム源は、DC放電式のグリッドレスイオン源です。イオン生成とイオン加速を同時に行う動作原理により極めてシンプルな構造になっています。 強力な磁気回路と電極構造により低圧力状態でも安定した動作が可能です。基板のクリーニング等の用途に最適です。オプションの中和器を用いることで絶縁物への対応も可能です。

■用途例・成膜装置の基板クリーニング
・分析装置の基板クリーニング
・イオンビームスパッタ

■イオン電流密度 条件・電極-プローブ間距離：60mm
・排気系：260L/s TMP (N2) +250L/min DP
・圧力：3.7×10^-2Pa (Ar.1sccm) 7.0×10^-2Pa (Ar.2sccm) 

■標準構成・イオン源本体
・専用2kV DC電源 (DCPS-201) 
・ケーブル類 一式

■オプション・フィラメント中和器
・点火装置 (高電圧パルス印加タイプ[自動]) 