3次元測定器ウエハ厚み測定システム
コムス株式会社

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この製品について

■ウェハ厚み測定システムウェハの厚み測定を非接触・高精度・簡便に行うことができるシステムです。専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触レーザ変位センサ2台による、ウェハの表面・裏面の変位測定、ExcelやCSVファイルへのデータ自動収集が行えます。ウェハサイズや測定方法に合わせたカスタマイズ対応が可能です。

■ウェハにダメージをあたえない非接触測定ウェハの表面・裏面をレーザ光により非接触で走査しますのでウェハにダメージを与えることがありません。また、ウェハ設置面へのテフロンコーティング、ガイドピンのピーク材仕様等の汚染防止仕様が施されています。

■ウェハ厚み測定専用アプリケーションソフトウェハの厚み測定に特化した専用ソフトによりウェハサイズや測定方法を選択することで簡単に測定を開始でき、測定データは自動でExcelシートやCSVファイルに収集されます。Excel上で最大値、最小値、平均値、公差判定、TTV (参考値) 、反り量測定やグラフ表示等が可能な結果判定用Excelシートを標準で装備していますが、お客様が測定箇所や結果計算をExcelで任意に作成することもできます。

■市販のレーザ変位センサから選択が可能レーザ変位センサは市販のレーザ変位センサから最適なタイプを選定し搭載することができます。測定対象ウェハの仕様、精度、使用環境、ご予算等に合わせたフレキシブルなシステム構成が可能です。

■カスタマイズ・オプション対応・ウェハサイズ、ステージストローク等
・オプション カバー
・オプション 除振台

■事前の実機テストデモ機等によりお客様の実際のウェハや基準ワークで測定の可否や従来方法との比較を事前に確認していただくことが可能です。お気軽にご相談ください。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
3次元測定器ウエハ厚み測定システム

取扱企業
コムス株式会社

カテゴリ

測定機器

三次元測定機

メーター・計測機器

厚み測定器

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	WAP-100XY	要見積もり	XY軸	100×100mm	2,3,4インチ	リニアスライドガイド	精密ボールねじリード5mm	0.75A/相 5相ステッピングモータ	0.5μm (分割数：1/20設定時)	15μm	±1μm	1μm	5μm	10μm	15μm	30mm/sec	15kg	92kg	0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	10mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	±1mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	マイクロメータヘッド付手動ステージ	CP-700M	2軸	4Mpps (高精度補間時：500kpps)	1pps	0~65,535msec	1~250分割 16段階切替	USB (ver1.1)	DC21.6~26.4V (DC24V±10%) ／0.5A	250VA (オプションACアダプタAD-100N使用時)