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■概要

リッド仮付けまたはシーム溶接工程の直前に真空アニールを行う装置です。溶接工程の処理速度に合わせ、キャリア毎にアニール処理 (枚葉式処理) することを可能としました。

■特徴

・前後工程とインライン接続しトレー1枚単位で処理が可能です。 ・1.1×10-3Paの高真空状態で、セラミックパッケージのアニールを行います。 ・Max300℃、60分の加熱を行います。 ・搬送治具は通常トレーとクランプキャリアの両方に対応します。 ・後工程停止時のバッファストッカを真空チャンバー内部に設けます。

  • シリーズ

    真空シーム溶接装置 (シングルタイプ) 真空アニール装置 AANL860I

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真空シーム溶接装置 (シングルタイプ) 真空アニール装置 AANL860I 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対象ワーク トレー仕様 真空排気系 外形寸法
真空シーム溶接装置 (シングルタイプ) 真空アニール装置 AANL860I-品番-AANL860I

AANL860I

要見積もり

SMD型水晶振動子、水晶発振器

標準トレー 170×134mm (600pcs/枚 2016以下サイズの場合)

真空度 1×10－3㎩ (ドライポンプ＋ターボ分子ポンプ)

W1,100×D1,300×H1,700mm (モニタ、表示灯及び別置きチラー除く)

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