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半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置-ガラス基板成膜装置
半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置-株式会社渡辺商行

半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置
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この製品について

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置です。

■基本情報

成膜有効幅760mmのガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージの採用により、温度制御性±3％以内を実現しました。4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上で成膜が可能で、膜厚均一性10％以内を確保できます。

■特徴

・低温 (150～300℃) 成膜 ・4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上の成膜 ・シンプルメンテナンス ・低CoO (低ランニングコスト) ・高品質なSiO2膜の形成: 低ストレス、プラズマダメージレス、小パーティクル ・導入・維持コストの削減: 小フットプリント、真空・プラズマ処理不要

■用途

・FPD向け絶縁膜 (NSG) ・酸化物半導体TFT パッシベーション膜 (NSG)

  • シリーズ

    半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置

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半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置サイズ (mm) ガス種 成膜温度
半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置-品番-ガラス基板成膜装置

ガラス基板成膜装置

要見積もり

1,300 (W) x 7350 (D) x 2,000 (H)

SiH4, O3/O2, PH3, B2H6

150~300℃

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都

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