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シリーズ
半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置取扱企業
株式会社渡辺商行カテゴリ
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半導体製造装置の製品183点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置サイズ (mm) | ガス種 | 成膜温度 |
---|---|---|---|---|---|
![]() |
ガラス基板成膜装置 |
要見積もり |
1,300 (W) x 7350 (D) x 2,000 (H) |
SiH4, O3/O2, PH3, B2H6 |
150~300℃ |
半導体製造装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測ウェハーサイズ mm
0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350チップサイズ mm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35基板サイズ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500処理能力 秒/chip
0 - 1 1 - 2 2 - 31ボンディング精度 μm
0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21電源電圧 V
90 - 120 120 - 220 220 - 260