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シリーズ
半導体製造装置 低温成膜 フレキシブル基板対応 ガラス基板成膜装置取扱企業
株式会社渡辺商行カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置サイズ (mm) | ガス種 | 成膜温度 |
|---|---|---|---|---|---|
|
|
ガラス基板成膜装置 |
要見積もり |
1,300 (W) x 7350 (D) x 2,000 (H) |
SiH4, O3/O2, PH3, B2H6 |
150~300℃ |
