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粉体処理 回転式卓上真空プラズマ装置 YHS-DφS-YHS-DφS
粉体処理 回転式卓上真空プラズマ装置 YHS-DφS-株式会社魁半導体

粉体処理 回転式卓上真空プラズマ装置 YHS-DφS
株式会社魁半導体

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この製品について

粉体やチップコンデンサの処理に最適。 真空プラズマに回転機構を追加し、全面を一括で処理できるように致しました。

■製品概要

・表面改質・洗浄・親水処理に高い処理効果 ・回転式チャンバーにより、表裏を一括処理 ・乾式環境で粉体の表面処理が可能 ・チャンバー内に回転可能な筒状の電極を配備 ・筒状電極と対向する中心部の電極に高周波を印加し放電 ・処理ワークは回転チャンバー内で転がり、表裏一括に処理が可能となる。 ・樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

  • シリーズ

    粉体処理 回転式卓上真空プラズマ装置 YHS-DφS

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粉体処理 回転式卓上真空プラズマ装置 YHS-DφS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 重量 回転部 ガス系統 ガス制御方法 電源
粉体処理 回転式卓上真空プラズマ装置 YHS-DφS-品番-YHS-DφS

YHS-DφS

要見積もり

820mm (W) ×600mm (D) ×680mm (H)

100

φ210×200mm (D)

1系統 (2系統以上はオプション)

ニードルバルブ (マスフローコントローラーはオプション)

100V,30A (50Hz/60Hz)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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