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対応基板サイズ
φ3インチ ～ φ6インチ
ターゲットサイズ
φ200, φ250, φ300, φ350mm
プロセスモジュール数
Max.4 基 +1 基 (オプション)
プロセスガス種
Ar, N2, O2
型番
S600シリーズ
多層膜スパッタリング装置 S600カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | ターゲットサイズ | プロセスモジュール数 | プロセスガス種 |
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要見積もり | φ3インチ ～ φ6インチ | φ200, φ250, φ300, φ350mm | Max.4 基 +1 基 (オプション) | Ar, N2, O2 |
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