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SPOC-1100シリーズ
超多層薄膜形成装置 SPOC-1100取扱企業
株式会社オプトランカテゴリ
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成膜装置の製品185点中、注目ランキング上位6点
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返答時間: 75.60時間
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270人以上が見ています
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CV-2100 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2100
株式会社C&Vテクニクス
270人以上が見ています
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CV-2200 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2200
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CV-2300 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2300
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返答時間: 75.60時間
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CV-1100 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-1100
株式会社C&Vテクニクス
270人以上が見ています
返答時間: 75.60時間
成膜装置成膜装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #光学部品製造 #太陽電池製造 #ディスプレイ製造 #電池材料開発 #センサ開発 #薄膜トランジスタ開発 #表面改質 #機能性材料研究 #MEMS製造 #医療機器製造 #材料評価成膜方式
蒸着法 スパッタリング法 CVD法 ALD法 溶液法構成環境
真空型 低圧型プラズマ利用有無
プラズマ無し プラズマ援用型 高周波プラズマ型基板搬送方式
固定基板型 回転基板型 ロール搬送型到達圧力 Pa
0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10基板サイズ mm
25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650設置面積 m²
1 - 5 5 - 10 10 - 20所要電力 kVA
10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35真空槽 mm
500 - 800 800 - 1,000基板バイアス V
0 - 5,000 5,000 - 25,000
