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基板ドーム
Φ800mm
膜厚計
光学式膜厚計/水晶式膜厚計 (6点ロータリーセンサ)
蒸発源
EB×1
アシスト
RFイオン源
排気システム
あらびきユニット・ターボ分子ポンプ・マイスナトラップ
型番
ARC-900取扱企業
株式会社シンクロンカテゴリ
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蒸着装置の製品135点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 基板ドーム | 膜厚計 | 蒸発源 | アシスト | 排気システム | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | Φ800mm | 光学式膜厚計/水晶式膜厚計 (6点ロータリーセンサ) | EB×1 | RFイオン源 | あらびきユニット・ターボ分子ポンプ・マイスナトラップ |
反転機構・遊星回転機構・自公転機構 |
蒸着装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
蒸着方式が電子ビーム蒸着型の製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
