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独自のプラズマ制御方式 立体物用プラズマCVD装置-ジャパンクリエイト株式会社
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ワークサイズ

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チャンバサイズ

1m×1m×1m

成膜可能膜種

DLC、フッ化DLC SiOx、SiON

セルフクリーニングガス

O2、Ar、他

真空排気

MBP+RP

圧力制御

APC制御

制御操作

制御:PLC 操作:タッチパネルまたはPC

データロギング

外部メモリまたはPC

この製品について

■特徴

・チャンバー容積 1m3 ・独自のプラズマ制御方式 ・多段式大量一括処理可能 ・高い汎用性を備えたシンプルな構造 ・様々な製品材質に成膜可能 ・広範な膜特性の制御可能 ・豊富な蓄積データ

■用途

・各種工具 ・摺動部品 ・装飾品 ・自動車部品 ・機械部品

  • 型番

    立体物用プラズマCVD装置

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年12月12日にレビュー済み

顧客対応への満足度

回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。

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独自のプラズマ制御方式 立体物用プラズマCVD装置 立体物用プラズマCVD装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) ワークサイズ チャンバサイズ 成膜可能膜種 セルフクリーニングガス 真空排気 圧力制御 制御操作 データロギング オプション
独自のプラズマ制御方式 立体物用プラズマCVD装置-品番-立体物用プラズマCVD装置 要見積もり 形状・サイズ・材質により異なりますので、お問い合わせ下さい。 1m×1m×1m DLC、フッ化DLC
SiOx、SiON
O2、Ar、他 MBP+RP APC制御 制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC
外部メモリまたはPC

ワークに合わせた専用電極、ガス検知器、シリンダーキャビネット など


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基板加熱温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200

制御操作

PC PLC タッチパネル

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

185.3時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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