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スパッタリング方式
DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧：DC 1500V max、放電電流：DC 50mA max
ターゲット (別売)
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、Wなどオプションとして各種ターゲットを用意
使用ガス
Air、Ar
到達真空圧
10-4Pa以下
チャンバー内寸
φ100mm (1ヘッド) 、φ127mm (2ヘッド)
試料ホルダー
φ50mm (1ヘッド) 、φ85mm (2ヘッド)
真空排気
主排気：ターボ分子ポンプ (本体内蔵) 、補助排気：ダイヤフラムポンプ (外置き)
寸法
本体360W×415D×480H (1ヘッド) 、360W×450D×500H (2ヘッド) 、ダイヤフラムポンプ、145W×223D×217H
重量
本体 約30kg、ダイヤフラムポンプ 4kg
電源
AC 100V/200V (出荷時選択) 15A
揺動角度
0~20°
型番
AT-903シリーズ
ギンブルマルチコーター AT-903取扱企業
株式会社エーティーエーカテゴリ
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スパッタリング装置の製品102点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | スパッタリング方式 | ターゲット (別売) | 使用ガス | 到達真空圧 | チャンバー内寸 | 試料ホルダー | 真空排気 | 寸法 | 重量 | 電源 | 揺動角度 |
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要見積もり | DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧：DC 1500V max、放電電流：DC 50mA max | Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、Wなどオプションとして各種ターゲットを用意 | Air、Ar | 10-4Pa以下 | φ100mm (1ヘッド) 、φ127mm (2ヘッド) | φ50mm (1ヘッド) 、φ85mm (2ヘッド) | 主排気：ターボ分子ポンプ (本体内蔵) 、補助排気：ダイヤフラムポンプ (外置き) | 本体360W×415D×480H (1ヘッド) 、360W×450D×500H (2ヘッド) 、ダイヤフラムポンプ、145W×223D×217H | 本体 約30kg、ダイヤフラムポンプ 4kg | AC 100V/200V (出荷時選択) 15A | 0~20° |
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