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返答時間
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リアクタ
縦型ステンレス製
基板サイズ
Φ2インチ×1枚
基板加熱
抵抗加熱方式
最高加熱温度
800℃ (制御用熱電対値)
流量制御
液体マスフローコントローラ
気化方式
熱式気化器
適用
酸化物など
投入室
トランスファーロッド付
型番
MPC2100H取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
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成膜装置の製品144点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | リアクタ | 基板サイズ | 基板加熱 | 最高加熱温度 | 流量制御 | 気化方式 | 適用 | 投入室 |
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要見積もり | 縦型ステンレス製 | Φ2インチ×1枚 | 抵抗加熱方式 | 800℃ (制御用熱電対値) | 液体マスフローコントローラ | 熱式気化器 | 酸化物など | トランスファーロッド付 |
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成膜装置成膜装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #光学部品製造 #太陽電池製造 #ディスプレイ製造 #電池材料開発 #センサ開発 #薄膜トランジスタ開発 #表面改質 #機能性材料研究 #MEMS製造 #医療機器製造 #材料評価到達圧力 Pa
0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10基板サイズ mm
25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650設置面積 m²
1 - 5 5 - 10 10 - 20所要電力 kVA
10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35真空槽 mm
500 - 800 800 - 1,000基板バイアス V
0 - 5,000 5,000 - 25,000
