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基板ヒーター
25mm×40mm、常用使用温度:400~800℃
マルチポート
ガス導入ライン_3本
本体
パイレックス製チャンバー、パージガス導入ライン、排気ポンプライン、リークライン、真空計、電流導入端子ポート、外形寸法:W400mm×H360mm×D265mm
排気ポンプ
ロータリーポンプ、外形寸法:W156mm×H200mm×D300mm
ヒーター用電源
基板/フィラメントヒーター用各1台 (仕様共通) 、定格出力電力:400W、AC90-250V 単相50-60Hz、外形寸法:W110mm×H130mm×D405mm
放射温度計
固定式ファイバ型放射温度計
フィラメントヒーター
常用使用温度:1,000℃以下
ガス流量計
導入ガス種:3種類、パージガス [N2 or Ar]、還元ガス [H2]、炭化水素ガス [CH4 or C2H4 or C2H2] (変更可能)
型番
MPCNT-Premium取扱企業
株式会社マイクロフェーズカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 基板ヒーター | マルチポート | 本体 | 排気ポンプ | ヒーター用電源 | 放射温度計 | フィラメントヒーター | ガス流量計 |
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要見積もり | 25mm×40mm、常用使用温度:400~800℃ | ガス導入ライン_3本 | パイレックス製チャンバー、パージガス導入ライン、排気ポンプライン、リークライン、真空計、電流導入端子ポート、外形寸法:W400mm×H360mm×D265mm | ロータリーポンプ、外形寸法:W156mm×H200mm×D300mm | 基板/フィラメントヒーター用各1台 (仕様共通) 、定格出力電力:400W、AC90-250V 単相50-60Hz、外形寸法:W110mm×H130mm×D405mm | 固定式ファイバ型放射温度計 | 常用使用温度:1,000℃以下 | 導入ガス種:3種類、パージガス [N2 or Ar]、還元ガス [H2]、炭化水素ガス [CH4 or C2H4 or C2H2] (変更可能) |
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