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73.9時間
TMP吸気口フランジ
ICF114, VG65, ISO63-K
TMP到達圧力 (ベーキング前)
10^-6Pa台
TMP到達圧力 (ベーキング後)
10^-8Pa台
TMP排気速度 (N2)
70L/s
TMP排気速度 (H2)
49L/s
補助ポンプ排気口フランジ
G3/4
補助ポンプ排気速度
50Hz:50L/min 60Hz:60L/min
TMP背圧・粗引圧力モニタ
ピラニ真空計 (2.7×103~10-1Pa)
フォアバルブ
ロータリーポンプ自動ベント機構付電磁弁 (L型電磁弁)
入力電圧
単相AC100V (50/60Hz)
入力ケーブル長
5m (3Pコンセント付)
電源容量
1.2 kVA
定常時消費電力 (kVA)
0.6 kVA
質量
55 kg
型番
YTP-50MBシリーズ
ターボ分子ポンプ YTPーB取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | TMP吸気口フランジ | TMP到達圧力 (ベーキング前) | TMP到達圧力 (ベーキング後) | TMP排気速度 (N2) | TMP排気速度 (H2) | 補助ポンプ排気口フランジ | 補助ポンプ排気速度 | TMP背圧・粗引圧力モニタ | フォアバルブ | 入力電圧 | 入力ケーブル長 | 電源容量 | 定常時消費電力 (kVA) | 質量 |
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要見積もり | ICF114, VG65, ISO63-K | 10^-6Pa台 | 10^-8Pa台 | 70L/s | 49L/s | G3/4 |
50Hz:50L/min 60Hz:60L/min |
ピラニ真空計 (2.7×103~10-1Pa) | ロータリーポンプ自動ベント機構付電磁弁 (L型電磁弁) | 単相AC100V (50/60Hz) | 5m (3Pコンセント付) | 1.2 kVA | 0.6 kVA | 55 kg |
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