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流量 (N2換算)
10~5,000SCCM
流量制御範囲
2~100%F.S.
バルブ動作
ノーマリオープン、ノーマリクローズ
精度
・100%F.S.~10%F.S.：±1.0%S.P. ・10%F.S.~2%F.S.：±0.1%F.S.
再現性
±0.2%F.S.
応答時間
1sec
必要差圧
50~300kPa
耐圧
1MPa (G)
温度影響 (Zero)
±0.02%F.S./℃
温度影響 (Span)
±0.02%F.S./℃
使用保証温度
5~50℃ 0~80%RH
リークレート
1×10-11Pa･m3/sec He
接ガス部材質
SUS316L,PCTFE,PTFE
シール材
SUS316L
所要電源
24VDC (180mA) ±3%
取付姿勢
自由
デジタルインターフェイス
EtherCAT®
バルブ方式
ピエゾアクチュエータ
重量
1.0kg
型番
MC-5100C取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量 (N2換算) | 流量制御範囲 | バルブ動作 | 精度 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧 | 温度影響 (Zero) | 温度影響 (Span) | 使用保証温度 | リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付姿勢 | デジタルインターフェイス | バルブ方式 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 10~5,000SCCM | 2~100%F.S. | ノーマリオープン、ノーマリクローズ |
・100%F.S.~10%F.S.：±1.0%S.P. ・10%F.S.~2%F.S.：±0.1%F.S. |
±0.2%F.S. | 1sec | 50~300kPa | 1MPa (G) | ±0.02%F.S./℃ | ±0.02%F.S./℃ | 5~50℃ 0~80%RH | 1×10-11Pa･m3/sec He | SUS316L,PCTFE,PTFE | SUS316L | 24VDC (180mA) ±3% | 自由 | EtherCAT® | ピエゾアクチュエータ | 1.0kg |
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使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
