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成膜チャンバー
φ360mm×L350mm (内寸) / SUS304 JIS350ハッチ機構
主な搭載機器
矩形マグネトロンカソードユニット 試料ホルダ
排気系統 (一例)
ターボ分子ポンプ (355L/s) ロータリーポンプ (203L/min) クリスタルイオンゲージ、隔膜真空計
到達圧力
5×10^-4Pa以下 (チャンバー内が空の状態にて)
カソードユニット ターゲット寸法
50mm×150mm×t5mm (磁性体はt1mm)
カソードユニット 冷却方法
水冷 (接点付き流量計)
カソードユニット DC電源 出力
MAX 1kV・1.2A (1,200W) 可変
試料ホルダ サイズ・形状
ドラム形状 (円筒型) φ250mm×L180mm (内寸)
試料ホルダ 処理容量
0.5/1バッチ (試料直径：φ0.5mm)
試料ホルダ ホルダ材質
SUS304
試料ホルダ 回転機構
モータ駆動 (0-20rpm可変)
型番
粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置シリーズ
粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品112点中、注目ランキング上位6点
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 成膜チャンバー | 主な搭載機器 | 排気系統 (一例) | 到達圧力 | カソードユニット ターゲット寸法 | カソードユニット 冷却方法 | カソードユニット DC電源 出力 | 試料ホルダ サイズ・形状 | 試料ホルダ 処理容量 | 試料ホルダ ホルダ材質 | 試料ホルダ 回転機構 |
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要見積もり |
φ360mm×L350mm (内寸) / SUS304 JIS350ハッチ機構 |
矩形マグネトロンカソードユニット 試料ホルダ |
ターボ分子ポンプ (355L/s) ロータリーポンプ (203L/min) クリスタルイオンゲージ、隔膜真空計 |
5×10^-4Pa以下 (チャンバー内が空の状態にて) | 50mm×150mm×t5mm (磁性体はt1mm) | 水冷 (接点付き流量計) | MAX 1kV・1.2A (1,200W) 可変 |
ドラム形状 (円筒型) φ250mm×L180mm (内寸) |
0.5/1バッチ (試料直径：φ0.5mm) | SUS304 | モータ駆動 (0-20rpm可変) |
蒸着装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途が表面改質の製品
CV-3100 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3100
株式会社C&Vテクニクス
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返答時間: 75.60時間
蒸着装置
CV-3200 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3200
株式会社C&Vテクニクス
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返答時間: 75.60時間
蒸着装置
CV-3300 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3300
株式会社C&Vテクニクス
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蒸着装置
CV-2100 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2100
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200人以上が見ています
返答時間: 75.60時間
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CV-2200 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2200
株式会社C&Vテクニクス
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蒸着装置
CV-2300 | 成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-2300
株式会社C&Vテクニクス
200人以上が見ています
返答時間: 75.60時間
蒸着装置蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
