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返答時間
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チャンバー
SUS304製 (内面鏡面仕上げ、電解研磨処理)
ロードロックハッチ
SUS304製 Oリング式
ターボ分子ポンプ 排気速度
260~355 L/sec (N2 、保護金網付き) ファイファー社TM 製 又は 220~350 L/sec (N2 、保護金網付き) 大阪真空機器製作所TM 製
ターボ分子ポンプ 制御電源
デジタルコントロールによる監視、保護機能搭載
ロータリーポンプ 排気速度
250 L/min
ロータリーポンプ 電動機出力
0.45 kW
チャンバー到達圧力
1×10^-4 Pa以下 (チャンバー内の負荷がない状態)
リーク量
6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下
真空計
コンパクトフルレンジ CCゲージ
本体架台
キャスター、アジャスター付
用力 電源
単相 200V/15A (最大)
用力 圧縮空気
圧力 0.4~0.6 MPａ (接続径 Rc 1/4)
寸法
500mm×600mm H1100mm
重量
本体約60kg
型番
UHVPSシリーズ
超高真空排気装置 UHVPS取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | チャンバー | ロードロックハッチ | ターボ分子ポンプ 排気速度 | ターボ分子ポンプ 制御電源 | ロータリーポンプ 排気速度 | ロータリーポンプ 電動機出力 | チャンバー到達圧力 | リーク量 | 真空計 | 本体架台 | 用力 電源 | 用力 圧縮空気 | 寸法 | 重量 |
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要見積もり | SUS304製 (内面鏡面仕上げ、電解研磨処理) | SUS304製 Oリング式 |
260~355 L/sec (N2 、保護金網付き) ファイファー社TM 製 又は 220~350 L/sec (N2 、保護金網付き) 大阪真空機器製作所TM 製 |
デジタルコントロールによる監視、保護機能搭載 | 250 L/min | 0.45 kW | 1×10^-4 Pa以下 (チャンバー内の負荷がない状態) | 6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下 | コンパクトフルレンジ CCゲージ | キャスター、アジャスター付 | 単相 200V/15A (最大) | 圧力 0.4~0.6 MPａ (接続径 Rc 1/4) | 500mm×600mm H1100mm | 本体約60kg |
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使用用途が表面加工の製品
真空発生器をフィルターから探すことができます
使用用途
#搬送吸着 #包装成形 #脱泡処理 #真空乾燥 #真空冷却 #半導体製造 #表面加工生成方式
エゼクタ型 メカニカルブースタ型 ターボ分子型 ロータリーベーン型 ダイアフラム型構造特性
一体型 分離型 多段型 オイルフリー型制御機能
電磁弁内蔵型 圧力スイッチ内蔵型 デジタル制御型対応圧力帯
粗真空対応型 中真空対応型 高真空対応型 超高真空対応型到達圧力 Pa
0 - 1 1 - 10 10 - 1,000 1,000 - 10,000排気速度 L/min
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 50,000 50,000 - 100,000モーター出力 kW
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 10 10 - 20 20 - 40 40 - 100電源電圧 V
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500質量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000真空タンク容量 L
5 - 15 15 - 25 25 - 40常用真空圧 kPa
-7 - -5 -5 - 75 75 - 85冷却方式
空冷 水冷
