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成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3200-株式会社C&Vテクニクス

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この製品について

■C&Vテクニクスの成膜装置ロールコーターとは

ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の総称です。弊社は真空成膜処理をするロールコーターを提供いたします。真空成膜法にはプラズマCDV法、スパッタリング法と真空蒸着法等のプロセスがあります。弊社のロールコーターは、このどのプロセスにも対応できます。 そして、これらのプロセスを自由に組合せることができる連続成膜装置です。C&Vのロールコーターは次のような特徴を備えたコンパクトでプロセスの多様性に対応した装置です。

■概要

・ドラムレスのフラットWeb搬送 ・処理表面の成膜前非接触のロールコーター ・異なるプロセスが連続処理できるロールコーター (CVD、スパッタ、エッチング、アニール等) ・圧力、パワー、温度、ガス等 ・新開発のTMP+CRT排気システムの採用 (素材ロールからのガス放出に対応)

  • 型番

    CV-3200

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成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3200 CV-3200の性能表

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成膜装置 ロールコーター 全固体電池用マルチチャンバーSP装置 (両面型) CV-3200-品番-CV-3200 要見積もり 太陽電池 1,000<

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使用用途

#半導体製造 #光学部品製造 #太陽電池製造 #ディスプレイ製造 #電池材料開発 #センサ開発 #薄膜トランジスタ開発 #表面改質 #機能性材料研究 #MEMS製造 #医療機器製造 #材料評価

到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

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