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各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ-アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。

■用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

■特長

・EGK/EGLタイプは、金属蒸着に最適です。 ・EGLタイプは、フィラメント汚染のない270°偏向になっています。 ・EGLタイプは、ルツボの冷却性能が高く、汚染を極力防ぐ構造です。 ・EGOタイプは、高速スイープと垂直入射を備え、酸化物や化合物の蒸着に最適です。

  • 型番

    EGK-3

企業レビュー 4.8

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2025年8月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回対応までの時間への満足度

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2025年7月28日にレビュー済み

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各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ EGK-3の性能表

商品画像 価格 (税抜) ルツボ容量 ルツボ数
各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ-品番-EGK-3 要見積もり 3cc 1

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使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

蒸着方式

抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型

成膜環境

真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型

蒸着材料供給方式

単発源型 多元源型

特徴機能

自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

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161.2時間


企業レビュー

4.8

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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