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各種電源・ロボット関連 光学用EBガン EGP-1G-アルバック販売株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

175.8時間

全型番で同じ値の指標

電子ビーム偏向角度

180º

冷却水量

10L/min

外形寸法 (W×D×H)

185mm×239mm×179mm (突起部含まず)

重量

11kg

この製品について

■概要

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

■用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

■特長

・180ºビーム偏向方式を採用することにより低コスト ・メンテナンス時に着脱する部品はすべて2面位置決め構造 ・フィラメント交換、エミッタの脱着が容易な構造

  • 型番

    EGP-1G

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年8月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

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各種電源・ロボット関連 光学用EBガン EGP-1G EGP-1Gの性能表

商品画像 価格 (税抜) 電子ビーム偏向角度 冷却水量 外形寸法 (W×D×H) 重量
各種電源・ロボット関連 光学用EBガン EGP-1G-品番-EGP-1G 要見積もり 180º 10L/min 185mm×239mm×179mm (突起部含まず) 11kg

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使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

蒸着方式

抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型

成膜環境

真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型

蒸着材料供給方式

単発源型 多元源型

特徴機能

自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

175.8時間


企業レビュー

4.8

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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