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各種電源・ロボット関連 金属蒸着用EBガン EGNシリーズ-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

161.2時間

全型番で同じ値の指標

電子ビーム偏向角度

270º

ルツボ数

6

ルツボ容量

20cc

冷却水量

10L/min

外形寸法 (W×D×H)

267mm×343mm×150mm

重量

28kg

この製品について

■概要

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。

■用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

■特長

・フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なく、清掃が容易 ・新エミッタ構造の採用により、部品点数を従来比60%に削減し、組み立てが容易 ・金属蒸着に最適なリボンビームと、酸化物/化合物に最適なスポットビームの選択が可能 ・装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

  • 型番

    EGN-206M

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年8月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回対応までの時間への満足度

1.11時間

Metoree経由で見積もり

2025年7月28日にレビュー済み

顧客対応への満足度

返信までのタイムラグがありましたが,返信内容は丁寧でした。

初回対応までの時間への満足度

69.57時間


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各種電源・ロボット関連 金属蒸着用EBガン EGNシリーズ EGN-206Mの性能表

商品画像 価格 (税抜) 電子ビーム偏向角度 ルツボ数 ルツボ容量 冷却水量 外形寸法 (W×D×H) 重量
各種電源・ロボット関連 金属蒸着用EBガン EGNシリーズ-品番-EGN-206M 要見積もり 270º 6 20cc 10L/min 267mm×343mm×150mm 28kg

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使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

蒸着方式

抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型

成膜環境

真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型

蒸着材料供給方式

単発源型 多元源型

特徴機能

自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

161.2時間


企業レビュー

4.8

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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