VPC-260F | 卓上型／小型真空蒸着装置 VPC-260F
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到達圧力

1.3×10-3Pa 6.6×10-4Pa (液体窒素使用時)

排気時間

4.0×10-3Pa/20min 1.3×10-3Pa/20min (液体窒素使用時)

真空槽

ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm)

フィードスルカラー

8ポート (側面8)

基板推奨サイズ・最大サイズ※1

□50mm ・ □140mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

蒸発電極構成

1点式

蒸発電源・数量

SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A (Max)

メインポンプ

油拡散ポンプ (空冷) 200L/sec

液体窒素トラップ

有り

補助ポンプ

油回転真空ポンプ 100L/min

オイルミストトラップ

オプション

メインバルブ

クラッパーバルブ

補助バルブ

三方向バルブ

自動リークバルブ

オプション

操作

手動

ピラニ真空計

オプション

電離真空計

オプション

本体最大寸法

530mm (W) ×550mm (D) ×1,135mm (H)

電源最大寸法

480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H)

本体質量

75kg

電源質量

40kg

所要電気量本体

100V 単相 50/60Hz 1.35kVA

所要電気量電源

200V 単相 50/60Hz 1.5kVA

アース端子

D種 (接地抵抗値 100Ω以下)

取り合い本体 1φ100V

ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 2m

取り合い電源 1φ200V

ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m

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この製品について

■概要空冷拡散ポンプ (200L/sec) ＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置 (抵抗加熱式) 。パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。

■特徴・キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
・ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
・メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
・蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
・RoHS対応

型番
VPC-260F

シリーズ
卓上型／小型真空蒸着装置 VPC-260F

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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卓上型／小型真空蒸着装置 VPC-260F VPC-260Fの性能表

商品画像	価格 (税抜)	到達圧力	排気時間	真空槽	フィードスルカラー	基板推奨サイズ・最大サイズ※1	蒸発電極構成	蒸発電源・数量	メインポンプ	液体窒素トラップ	補助ポンプ	オイルミストトラップ	メインバルブ	補助バルブ	自動リークバルブ	操作	ピラニ真空計	電離真空計	本体最大寸法	電源最大寸法	本体質量	電源質量	所要電気量本体	所要電気量電源	アース端子	取り合い本体 1φ100V	取り合い電源 1φ200V
	要見積もり	1.3×10-3Pa 6.6×10-4Pa (液体窒素使用時)	4.0×10-3Pa/20min 1.3×10-3Pa/20min (液体窒素使用時)	ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm)	8ポート (側面8)	□50mm ・ □140mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。	1点式	SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A (Max)	油拡散ポンプ (空冷) 200L/sec	有り	油回転真空ポンプ 100L/min	オプション	クラッパーバルブ	三方向バルブ	オプション	手動	オプション	オプション	530mm (W) ×550mm (D) ×1,135mm (H)	480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H)	75kg	40kg	100V 単相 50/60Hz 1.35kVA	200V 単相 50/60Hz 1.5kVA	D種 (接地抵抗値 100Ω以下)	ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 2m	ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m